助力智能工厂过程在线分析、工艺优化、降本增效、节约能源、完成碳达峰目标

半导体制造业由于在制程中要使用到极高毒性,腐蚀性及易燃性气体、液体和大量可燃性塑材，再加上无尘室的密闭作业环境及回风系统,被美国(FMS)组织列 为“极高风险”的行业。作为半导体晶圆代工厂气体的使 用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体 的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。

半导体产业产房中存在大量特细气体管道，在安装完成后，必须经过严格的检测测试才能投入正 常使用。特细气体管路的五项必备分析测试分别 为: 压力/氨侧漏/含尘量/水分氧分分析检测。只有 当以上五项测试检测全部符合标准厂房才可投入使 用，否则会有极大的潜在安全以及经济风险。

根据现行国家标准《特种气体系统工程技术规范》GB50646-2011和《有毒气体检测报警仪技术条件及检验方法》HG23006中的有关规定，同时结合半导体工厂使用气体检测装置产品的快速响应要求作出检测报警响应时间规定。要求处于抽风口或环境点安装毒性气体侦测器及系统，若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对人体 危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。

半导体行业气体检测主要范围
一氧化碳CO、氨气NH3、氧气O2、氯化氢HCl、氯气Cl2、氟化氢HF、磷化氢PH3和氢气H2等有毒有害,易燃 易爆气体传感器，是针对半导体制造业毒气监测应用的专业级传感器产品. 传感器寿命长，可长时间稳定持续监 测，可大大降低半导体制造业毒气监测成本，实现大范围安装应用，为半导体制造业毒气监测提供了切实可行的安全生产监测解决方案。

半导体电子厂房常见危险性气体种类

半导体电子厂房气体检测及监视系统
在半导体电子厂房加工过程中，高危险物质，尤其是可燃气体、有毒气体等气体的使用日益增加。不可避免的气体泄漏事件偶有发生，进而对工厂及其雇员和附近居民及环境产生潜在危害。全球范围内因气体泄漏所导 致的燃烧、爆炸和窒息、人员伤亡等事故，不断地提示着人们这个问题的存在。气体检测及监视系统随之诞生， 旨在气体泄漏早期及时发现、预警，帮助人们获得更多时间去预防和采取补救行动。
目前，应用于半导体产业的特种气体有110余种，常用的有20-30种，在原材料需求占比中高达14%。

半导体产业中常见气体检测应用：
维持洁净度： 付氮封、充吹（Purge）
矽晶片制造：O2, HCL, H2, Ar
氧化：O2, DCE
掺杂：PH3,AsH3, BCl3
微影：KrF, ArF, F2
蚀刻：Cl2, SF6, NF3, CF4, HBr, BCl3
薄膜：Ar (物理气相沉积PVD)， SiH4, N2O, NH3, WF6 (化学气相沉积CVD)

舒茨股份提供半导体行业内气体浓度定量与控制设备，为半导体行业提供一站式的解决方案，以及一氧化碳CO、氨气NH3、氧气O2、氯化氢HCl、氯气Cl2、氟化氢HF、磷化氢PH3和氢气H2等有毒有害,易燃易爆气体传感器、报警仪、变送器等控制设备，为半导体前端生产工艺保驾护航。